zl1982
发表于 2008-1-6 00:12:49
溅射sio2膜,膜层发黑且不绝缘是什么原因啊
如题,小弟是新手,恳请各位指点。谢谢!!
bakgy
发表于 2006-1-6 13:41:53
可能是材料有污染.
optilm
发表于 2005-12-29 21:07:58
你用什么方法溅射的啊?不会镀上去的是硅吧?
方舟
发表于 2008-3-21 19:29:20
腔体真空镀差,或有污染!
chb0320
发表于 2008-4-17 22:26:10
基底是什么材料?
方舟
发表于 2008-4-27 01:35:59
腔室真空度不好,SiO2,对真空要求是非常高的!
280870377
发表于 2012-10-31 13:54:24
可能是失o2了,
27676995
发表于 2013-11-9 01:06:12
{:12_127:}
页:
[1]