zl1982
发表于 2008-1-5 16:12:49
溅射sio2膜，膜层发黑且不绝缘是什么原因啊
如题，小弟是新手，恳请各位指点。谢谢！！
bakgy
发表于 2006-1-6 05:41:53
可能是材料有污染.
optilm
发表于 2005-12-29 13:07:58
你用什么方法溅射的啊？不会镀上去的是硅吧？
方舟
发表于 2008-3-21 11:29:20
腔体真空镀差，或有污染!
chb0320
发表于 2008-4-17 14:26:10
基底是什么材料？
方舟
发表于 2008-4-26 17:35:59
腔室真空度不好，SiO2,对真空要求是非常高的!
280870377
发表于 2012-10-31 05:54:24
可能是失o2了，
27676995
发表于 2013-11-8 17:06:12
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