电子枪和离子源的冷却水问题
我们的镀膜机在镀完膜,开始充气的时候,电子枪和离子源的冷却水应该是自动关闭循环的,但是现在不论什么时候都一直循环,有知道为什么吗?帮小弟指点一下,谢谢 电子枪、离子源、还有磁控靶停机后千万不能关循环水。因为还有很高的余热存在于各部件。一关很可能会烧坏设备。 引用第1楼nanovac于2007-12-04 21:56发表的:电子枪、离子源、还有磁控靶停机后千万不能关循环水。因为还有很高的余热存在于各部件。一关很可能会烧坏设备。
说的太对了 真的是這樣 {:12_133:}
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