awoo 发表于 2007-11-2 03:16:25

求救：镀多层膜(40层)时，镀到中间某一层(如第10层)，电源冷却水报警，不能放电？

各位大侠们：
    小弟用磁控溅射在镀多层膜(40层)时，开始几层镀的没有问题，镀到第十几层，电源冷却水报警，不能放电，电压加不上去。能想到的办法都已经想到了：
1、清洁真空腔，换内壁衬板；
2、调节靶材与挡板之间的距离；
3、增加和调节冷却水水压。
不知道那个前辈遇到过这种问题啊，救救小弟啊

jinbo8125 发表于 2006-1-6 13:41:53

记下镀膜时间，然后检查水压是否过小，一般再调大点吧，复位续行应该就可以了吧

jinbo8125 发表于 2005-12-29 21:07:58

没看清你下边的处理方法，不好意思
那要看看你的冷却水的冷凝泵是不是有问题，水温是不是太高了

awoo 发表于 2007-11-27 07:38:35

问题已经解决，不过还是谢谢你的回答
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