172707188 发表于 2007-9-14 14:38:33

有关高介电常数的问题！

请问各位大虾：做高介电常数薄膜材料用什么源气体？我用的是PECVD设备。

rainbow 发表于 2006-1-6 05:41:53

等待中，楼主现在主要做什么呀？

zl1982 发表于 2005-12-29 13:07:58

eeeeeeeeeeeeeeee
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