镀膜完成后遇到的hazy问题
最近在镀膜时遇到了一些困难,希望大家帮忙一起讨论下。Substrate: B270
材料:SiO2, Ti2O3
我们用同样的材料和环境做比较少层的镀膜时没有任何问题,但是每次一旦进行比较多层次(30多层以上)的镀膜时(做的是可见光谱内的滤光镜片),就会发现完成以后我们的玻璃看起来雾蒙蒙的(hazy)。请问大家有遇到过这种情况吗?还希望大家能够帮我一起分析下,找出问题的原因。谢谢。 正常。 我以前镀膜也遇到这种问题,作较少层时其实也有这种Haze,只不过我们的肉眼看不到,这时薄膜在可见光波段的反射率不高(比如你做AR时),这样我们可能就看不到这种Haze。
当你做较多层膜(常用的filter,反射镜),它在可见光的某个波段,肯定存在较强的反射(反射率很大>90%),这样我们肉眼就能很明显的看到薄膜中存在这种雾蔼(Haze)。
这种Haze对薄膜的性能影响不是很大,但是对外观的影响却是很头疼的(薄膜外观要求其实和性能要求同等重要,有时更甚)。可能的原因是:
1 环境的湿度较大,导致基片吸附一些水份,这种吸附的水分是很难擦拭掉的,而且抛光精度越低的基片,这种情况越严重。
2 清洗液配比以及擦拭方法的问题,往往会导致基片表面会留下擦痕,镀前很难发现,只有镀后才能看到
3 靶材可能潮湿。
我是这样做的,可以明显减少这种Haze,
1 基片要擦的一点痕迹都没有,可对着强光灯看,这样可以判断表面有没有擦拭留下的痕迹;
2 镀膜前真空腔内烘烤2~3个小时。
我是中科大-Shincron薄膜材料与工艺联合实验室的,希望能和大家多交流交流!共同进步! 多谢2楼的回复。我试过在镀膜前烘烤,的确有效,但是haze依然存在。现在考虑是否会和我们的抛光或者超声波清洗过程有关。 是不是和你的气体有关啊 新手,学习! 以前镀膜也遇到这种问题,SIO2跟温度有關係,不知你的温度是多少,曾用大約200~250度,有明顯改善
可以調調温度看看 awoo 你好,大家好,我们公司用的也是Shincron的镀膜机,真的haze现象特别的严重,导致废品率高,非常头疼的问题。
有以下问题:
1. 不知道是不是我们的镀膜机本身有某种不足在里面?
2. 首先靶材问题是可以去除的因为我们的机子基本上不停一直工作,镀膜室保持较高真空度;抛光的问题很难确定,但是清洗肯定是有很大的关系,主要是清洗液吧,肯定是有影响的,至于清洗的方法不好说因为同样的方法而haze却是时有时无;烘烤,应该是个好方法吧,回头试试,不过你说的2-3h是不是有点长?还有温度多高?
3. 气体的问题应该不大,我们用的气体都是同一家公司的。
4. 早就知道你们那边有Shincron的机子,不知道你们的型号,我们的是1100,适合生产的镀膜机,你们做不做产品?怎么养活它,很耗钱的哦。
本人联系方式:jinbozhu@yahoo.cn
希望大家多多指导,交流! TI2O3膜到一定程度后自身就会发雾很严重,要想解决这个问题最好还是换一种材料。 我用的是SiO2,NbO。估计膜料的影响不是主要的。
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