ruanyique
发表于 2007-8-1 23:50:16
磁控溅射在玻璃上镀TIO2的问题
请教各位大侠：
我在镀TIO2时，为什么沉积速率提不起来呢？
quentin
发表于 2006-1-6 13:41:53
是不是温度不够啊
2480404
发表于 2005-12-29 21:07:58
有可能
cheng003
发表于 2007-8-14 11:10:40
是蒸发镀还是溅射镀
chb0320
发表于 2008-4-17 23:15:45
是采用反应溅射吧？
那你有没有装离子监控设备控制反应？
最大的可能是氧气配比不对
hill1121
发表于 2008-4-25 04:39:35
肯定是靶中毒了呗
whzg
发表于 2008-4-25 20:26:12
氧气多了
13711595111
发表于 2008-10-24 22:38:30
你指的起不来是多少?
页:
[1]
