gds 发表于 2007-4-1 02:22:02

基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统

基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统



【会议录名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛论文集 , 2005 年

【作者】 赵君臣; 章海军; 张冬仙;
【作者单位】 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室;
【会议名称】 浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛
【会议地点】 中国浙江金华
【主办单位】 浙江省科学技术协会、浙江省光学学会
【学会名称】 浙江省科学技术协会
【关键词】 原子力显微镜; 步进电机; 薄膜厚度; 纳米;
【论文摘要】 研制了一种基于原子力显微镜的薄膜厚度检测系统。该系统首先绘制薄膜轮廓曲线,根据曲线找到薄膜边界,然后计算镀膜区与无膜区的高度差,得到薄膜厚度。跟台阶仪、光学轮廓仪相比, 该系统具有操作简单、抗干扰能力强、精度高的优点。实验表明,该系统有很高的重复性,能够精确测量各种不同性质的薄膜的厚度。

60m 发表于 2007-6-27 07:11:48

谢谢楼主的奉献！

hanz 发表于 2007-6-30 03:56:14

先下来看看先

xiaxingke 发表于 2007-12-26 03:05:34

顶,下来看看

臭豆腐 发表于 2008-9-24 04:46:57

我现在就在使用类似的方法测膜厚

qqaiwmkk 发表于 2009-2-1 23:02:30

ok

好贴顶起。厚道的行为，要看要顶。
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nanajj76 发表于 2010-8-17 01:42:58

辛苦了！！

辛苦了！！
辛苦了！！
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