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[求助] 镀长波通,反射蓝绿色,镀后脱膜严重,求助

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发表于 2018-5-13 12:53:36 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 charles2022 于 2018-5-13 13:01 编辑   o! m9 b! c8 |3 u9 ~1 X; r
, b5 a" ~- y+ N& s9 p0 Q
用这个膜系Design:         
1SiO276.09
2TI3O5-HH23.94
3SiO286.27
4TI3O5-HH52.87
5SiO269.92
6TI3O5-HH64.07
7SiO285.38
8TI3O5-HH58.9
9SiO283.24
10TI3O5-HH53.23
11SiO2213.95
因为有颜色要求780-1100低反。镀出客户基片来掉膜很厉害,好多小气泡一样。做测试的白玻璃表面不掉膜但是膜层很软。有没有知道的请指教。9 F3 K1 U& W  A* L
补充;机器南光蒸发机1350    80度  基片亚克力      QQ 13893538.7 G/ \- p" P7 L/ Z* t6 ~0 M
+ d4 R, @3 K/ o* h' x
发表于 2018-5-30 18:23:28 | 显示全部楼层
加离子源试试,另外不加温不可以吗? sio2压应力太大了
发表于 2018-6-8 16:47:31 | 显示全部楼层
只能加离子源,还需要有些强度的霍尔源
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