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<title>评述了软X射线光学多层膜的结构设计</title>
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1 G: l4 V" }. i/ s8 e 日本产业综合技术研究所的一个环境应答功能薄膜研究组开发了一种具有卓越光学特性的调光镜薄膜材料。调光镜材料是一种能够把光学性质自由地控制成透明状态与镜状态及中间状态的新薄膜材料，这次开发的是可见光透过率50％以上的镁镍系合金薄膜材料。<br>
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2 x6 i- T: Q. u& ]- T) x4 o 把用这种材料做的调光玻璃（能够自由地调节从外部射入的光）作为建筑物的窗户玻璃使用，可有效地遮蔽从外部射入的太阳光，因此能够减少建筑物内部的冷气负荷和照明负荷。若把它用作汽车的窗玻璃，在夏天停车时可从透明状态变为镜状态，因此能够大幅度地抑制室内的温度上升，从而能够节约冷气使用的汽油。<br>" A* t9 ]# i0 F# I [3 _: D- T. Y& S
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5 K9 q4 W3 V# a& { 这次开发的调光镜薄膜与以往报道过的调光材料相比，不仅具有卓越的光学特性，而且价格便宜，适用于大型的调光镜玻璃。<br>9 S2 K; O0 C* H% y& ]1 i
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1 j+ t: n* @* n, m 该薄膜材料使用了磁控管飞溅装置，使金属镁和金属镍同时飞溅，制作镁镍合金薄膜，在真空中用飞溅方法附上极薄的钯后，在大气中取出，取出的薄膜是银色的镜状态，但是如果把这种膜暴露在不含氧而含有氢的气体中时则变为透明的，而重新暴露在不含氢而合氧的气体中时又会返回到原来的镜状态。<br>0 x3 b/ }% A- n
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" |; q+ p/ ?3 W- ?" w3 ?. e; J 由于这种薄膜的调光特性与成膜条件有很大关系，该研究组确立了制作再现性良好的膜的技术。对膜的组成、膜的厚度、成膜速度、飞溅气体压力等各种变化制得的膜进行了评价。于是找到了具有卓越光学特性的膜的成膜条件。结果针对以往报道的镁镍系含金薄膜因透明时可见光透过率仅5％难于实用化的问题，开发了可见光透过率超过50％的材料，同时，这次开发的调光镜薄膜不仅能进行用气体的开关，而且通过调整膜的构造能进行用电解质的电气开关。<br>
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今后将进行进一步提高透明时的可见光透过率的研究，为了实用化进行耐久性的评价，解释其劣化机理，达到实用化的目标。<br>
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发表于 2006-8-24 01:54:48
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