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<title>评述了软X射线光学多层膜的结构设计</title>
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! b) i0 G2 c) M8 z 以周期膜理论为基础,改进了已有的设计方法，采用随机数的方法在18～20nm波段设计了积分反射率最大的宽带多层膜，理论上得到了高于周期膜系8%的积分反射率.同时给出了整体的设计步骤，并用磁控溅射方法对其进行了制备.最后的X射线衍射测量和反射率的相对测试表明，与周期膜系相比，非周期多层膜的带宽展宽，反射率积分值增加，但峰值反射率略有降低.膜厚变化的无规律性使得非周期多层膜的制备更加困难，进一步提高膜厚控制精度是今后实验的重点.<br>: j h! H# a5 y1 p
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发表于 2006-8-24 01:23:05
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