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H( e8 _6 ~0 V2 D& P' I7 B5 V' U<head>: K$ y9 e7 r$ J( F2 u4 s ]
8 C5 O& @! I9 X( O$ f
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5 O& A& E+ C4 F
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<title>New Page 1</title>
( w ^: x2 u. f1 w) C6 @6 E- C4 H2 }2 p3 H7 L
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% W' w% C0 Y$ u& c2 X
5 m$ F* R) f5 q) @( Z
/ w% O7 L$ m1 O0 u<body>- A" O3 i% I( s3 P- y6 U+ T
6 `+ ]0 h. T! @" n
# n+ z! I* O; g
+ m3 n' i3 U1 v6 F6 ] Q<table border="0" width="100%">
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<tr>
' l% B& s E) b1 }1 {: g' G0 i4 O! ?. \5 E2 _- _( x3 x' K" J
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8 K, G" ]. _: F7 C6 T Y4 d: u1 R! {! e
</tr>
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+ ]& x6 k2 q" _% ~1 ]; q <tr>. a n# {: J" ]: I: W2 R
' S* V$ e! T& G- u: ]/ u+ J8 a) _
<td width="100%"><font size="2">(1)
1 r. E D# g" ^& o. P+ i) C N
真空获得与测量专业委员会(活动内容扩大为真空设备与系统)<br>2 Y* \# D. w) W
- L( ~; L8 M9 p3 ~
主任委员:<br>
% P$ w( L4 L& v* J5 R3 g/ [+ y( R8 U1 W
于 溥 沈阳真空技术研究所 总工程师、教授级高工<br>$ \; K0 l @( X% D; c! P
( a- D( d- g) d7 L2 e 副主任委员:<br>
4 L F( c* W* W; g" G, U' a+ X0 w5 }# u/ N& r2 p
费渭南 中国计量科学研究院 研究员<br>
& w5 Z3 K; e g2 n
0 V: U5 Z- m5 ? 巴德纯 东北大学机械学院 副院长、教授<br>7 i$ w0 A; `6 U" L$ `0 a4 R; w
9 V+ m' h& _' C8 N6 |/ K
赵 洪 上海真空泵厂 副厂长、高级工程师<br>
- E7 p' M$ v4 i! Y' z
" N6 c& h X2 u 张涤新 航天科技集团兰州物理研究所 研究员<br>
: U8 r! `! Z7 N( U) x# I6 }. s( B) C6 q
燕洪顺 山东淄博真空设备厂 高级工程师<br>- H1 x* {; Z/ ]/ d
- Q* y3 Q8 d% c: F8 V' r$ u. C6 l
蒋迪奎 上海同步辐射装置 副研究员<br>
N. n/ R, u- R" ^% l* b
8 n, }$ P! W3 j0 n. B (2) 薄膜专业委员会<br>
/ {8 `5 O" T8 Z- C7 Q9 s1 ]4 t: b1 v
主任委员:<br>
2 A( v- |' {! X4 ~, P# l1 W/ ?
, @8 h8 K) Y" D; e 潘 峰 清华大学材料科学与工程系 教 授<br>
G) U4 W6 `7 o, O5 e% w+ k/ ^6 t
9 {2 n; n3 V$ A3 \$ j% V7 B 副主任委员:<br>5 T6 ]) y/ }; o7 I
+ e9 G3 q/ ?! U1 _- o: z
陈国平 东南大学薄膜研究所 教 授<br>
9 @+ R& `. K; [; ^3 E5 A6 E7 p
8 m; t9 o0 N! r1 }+ j 谭 宁 北京仪器厂 高级工程师<br>
! k& h: t/ i9 ^; x- c5 w6 [( J; a9 s5 c2 B0 y! K
李建平 中科院电子学研究所 副研究员<br>/ i- W9 E; `! t/ {* c: ~
v3 G# x/ p" H& R1 p, ^5 y (3) 表面与纳米科学专业委员会<br>
8 W- C$ W; W2 e* C
, T I) c$ Q- d 主任委员:<br>, U; W" D0 \4 r6 n) v' j9 S
9 f" Y% n6 H* T
高鸿钧 中科院物理研究所 研究员<br>
! e/ i; U/ Q( Y/ b8 v& C3 }% ]+ A7 K7 o; ~& c; O
北京真空物理实验室<br>
6 P; Y5 r6 i! l! ]! w" [" c
$ X- v! H+ s( H8 ], u- S/ {! J8 V( w 副主任委员:<br>
6 J, o7 v+ Q" P6 E* F
) j0 @3 N8 ~) N. _0 z# ~7 G 薛增泉 北京大学电子学系 教 授<br>
" C1 t' @( H8 c( U& F3 O/ r9 ~* F0 ~! N9 g' T# U
严学俭 复旦大学材料科学系 博士、副教授<br>% y( g. G- d% G& h
; _6 T* ]) j7 A' I% T, k; ?$ K (4)真空冶金专业委员会<br>) d6 ?! N% C; l" Q7 N
) N' p- n1 f+ X) p( j- z8 z
主任委员:<br>& J2 q4 f( g( o
) P) V* |; b0 A e+ Z% g
巴德纯 东北大学机械工程与自动 副院长兼中心<br>
1 C' U7 d6 R; Z r7 h& L( G/ G! q7 o, N% o; o& c. B
化学院、真空工程与自动 主任 教授<br>4 w1 y! g: c- _" ]9 g) k
+ X* V J0 _7 ]4 M }. X
化研究中心<br>$ }! H( o! a! Z" e2 h, e0 x( d
, R. d! v* d: ~0 Z9 j9 z 副主任委员:<br>
- L. c9 S% Q2 A0 H- p" c% \
o, `. G6 A' g7 W! r/ @" { 葛红林 上海宝钢集团 副总经理 教授级高工<br>( D, G8 ?5 W: H2 V" T; Y0 \# |* x
8 y8 D0 z' R3 C% s# [ 杨 柯 中科院沈阳金属研究所 副所长 研究员 博导<br>
4 e( [. f; f- I- l# A- x m p& b% v$ R7 B) H& S b9 h0 A3 P
石 岩 沈阳真空技术研究所 副所长 教授级高工<br>
7 c: {/ J- @" E6 l" F) i2 b3 o
: z6 m9 o7 l2 L 杨 斌 昆明理工大学真空冶金 副所长 副教授<br>
4 ?; c9 J0 ]& N+ v' J
* ~/ O% r+ E* P 及材料研究所<br>6 ]9 A0 {7 P) u! f: c8 u% l
7 M7 v5 ?& D9 Z9 G$ f5 P7 o
(5)电子材料与器件专业委员会<br>
/ ~1 u* A9 W2 ~: L
' v# n; B7 v; w, m' s% q 主任委员:<br>% K( A6 N7 o! d
9 a( A' l1 Y' `" g) N 罗 毅 清华大学电子工程系 博士 教授<br>
' x& S6 t' V( C! `& s7 R
g) {- ?" o- d N) \ s 副主任委员:<br>
7 N& l( Q$ e: O4 g1 G9 g& x
) r3 U- J5 G6 A" L$ F 薛文进 深圳科技工业园总公司 副总工程师 研究员<br>0 ?' c5 I7 ?7 Y( N* G) x& c. v+ L
2 Y3 S. [! g j6 P) Z" T% v0 a+ c9 I
季国平 信息产业部电子信息产品管理司 处长<br>
J) g. T& L4 A+ Y( \ l" V+ O1 }; P8 J+ s( Y
基础产品处<br>
" g I9 m* l1 o0 C- L
D4 M) ^/ P+ B! K8 b% ]8 Y 杨锡良 复旦大学材料科学系 教授<br>
* q: e$ Q) y+ D' v: J( R
' h+ O$ p4 W" [( e 夏善红 中科院电子学研究所 博导 研究员<br>
6 C) N5 x7 }$ J; c. g2 I
3 b: @8 D* C1 [) J$ g3 J ?# }8 P 黄运添 西安交通大学电子工程系 教授<br>1 c( P! X/ n* N0 _% d$ G$ C
; j" x9 p; {& ]6 B (6)真空质谱分析与捡漏专业委员会<br>
& f/ Z7 `5 o6 w5 K% w) b& i5 Q0 S' E$ G, ?8 X# `
主任委员:<br>& L( d( V& ?+ Z% Q; s- b
2 {. H( C% `- h& A; r" E 陈 旭 清华大学电子工程系 副教授<br>9 E4 n q6 E2 S, H _8 N& Y2 [
Q/ h% E3 E% q1 R9 H8 b2 y4 L: ~
</font></td>
% V4 _2 d' }" V. ]+ [2 g7 l; a# B# q3 l' E4 |
</tr>/ }/ i6 w# \3 D% j' T
! r: S. ?& n* W$ O: K$ i <tr># y, l! n& b/ `& R: B0 f
) Z( \2 Z: ~8 ]" G$ ?
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" a( q( V3 @1 J+ I! S
</tr>! I$ b, n- R' j! R1 L
, @ C& O8 H1 T$ t6 \</table>$ u0 A1 ?" b; x% c
& M, m; P& I& v8 ?/ u! V4 B
0 |+ p6 Z+ a x8 E1 ^; {5 @
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& {& D7 n" e; V L" w) E6 a1 d- J5 A$ o: W
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# x( F* J6 i; g- e; O6 _5 d; C2 I$ C G
1 [7 B, ^9 ]8 W) @5 b- a$ w% Y: }! P( X2 ~7 ^8 k+ x
</td>
: [9 A( |$ M Y4 ?
' G1 z( y- }+ C2 B0 W8 G </tr># X/ p M9 d. ]) A, Y* C
! j* u. {& h" K& g9 R
<tr> 4 }9 V# G: Y* e$ Z
' m |; Q0 S0 y2 W
<td> </td>! A3 S6 u8 X! }# l2 C
9 Z# p9 a; D" g! S. O/ O </tr>
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