离子镀硬质膜技术的最新进展和展望

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<>　电弧离子镀至今仍是硬质膜的主流技术, 但是, 其内容与80 年代比已大为丰富。首先, 镀层材料由单<BR>一氮化钛, 发展到氮化钛与碳氮化钛、氮化钛铝、氮化铬等多种材料并用。然后, 又进一步发展为多层复合镀<BR>层。远离平衡态过程的低温沉积技术日趋成熟, 使各种机械零件的需磨损耐腐蚀镀层逐步走向实用化, 促进<BR>了机械工业水平全面提高。低温沉积技术大幅度降低镀层内应力, 使镀层的厚度能够达到数十, 甚至上百微<BR>米, 满足了发展高性能特种镀层的需要, 如T iB2 抗空蚀镀层、T i(C,N ) 抗冲蚀镀层, 电弧离子镀制备MCrA lY<BR>镀层, 现已进入产业化。与此同时, T iN 复合膜作为耐磨耐蚀镀层也取得了成功。展望21 世纪, 复合多层膜将<BR>得到更加广泛的应用, 并向纳米复合膜发展。镀膜机内渗氮镀膜连续二重工艺可望成功, 并在提高耐磨耐蚀<BR>性上取得显著效果。远离平衡态镀膜技术水平将进一步提高, 成本大幅度降低, 并在合成新型镀层材料、制备<BR>厚镀层、提高镀层性能上取得大量实用性成果。</P>

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