离子增强沉积技术

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< class=MsoNormal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-INDENT: 18&#46;05pt; mso-char-indent-count: 2&#46;0"><B style="mso-bidi-font-weight: normal"><SPAN style="FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 宋体"><SPAN lang=EN-US><?xml:namespace prefix = o ns = "urn:schemas-microsoft-comfficeffice" /><o:p></o:p></SPAN></SPAN></B></P>

2 [7 P) U& ~4 r4 @< class=MsoNormal style="MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-INDENT: 18&#46;2pt; mso-char-indent-count: 2&#46;02"><SPAN style="FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 宋体">离子增强沉积技术，包括由金属和气体离子源，及电子束蒸发、磁控溅射和磁过滤真空弧相结合的离子镀设备，用以沉积<SPAN lang=EN-US>YiN</SPAN>，<SPAN lang=EN-US>TiC</SPAN>，<SPAN lang=EN-US>DLC</SPAN>等复合超硬膜和氧化物、氢化物等功能膜系。在<SPAN style="FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 宋体">机械工业中精密工模具、刃具的超硬复合膜系和润滑膜系；在</SPAN>电子工业中功能膜系，如低辐射玻璃、<SPAN lang=EN-US>DP</SPAN>保护涂层；<SPAN lang=EN-US>DP</SPAN>等离子体显示器保护膜等有广泛应用背景。</SPAN><SPAN lang=EN-US style="FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 宋体">DP</SPAN><SPAN style="FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 宋体">等离子体显示器，在我国刚起步，有巨大市场前景和效益。<SPAN lang=EN-US><o:p></o:p></SPAN></SPAN></P></td>

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