PVD表面涂层技术及装备

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6 H6 j) N! `6 G2 l< class=MsoNormal style="MARGIN: 0cm 0cm 12pt; TEXT-ALIGN: left; mso-pagination: widow-orphan" align=left><SPAN style="COLOR: black; FONT-FAMILY: 宋体; mso-bidi-font-family: 宋体; mso-font-kerning: 0pt; mso-bidi-font-size: 10&#46;5pt"><FONT size=3>    物理气相沉积（简称<SPAN lang=EN-US>VD</SPAN>，沉积温度<?xml:namespace prefix = st1 ns = "urn:schemas-microsoft-comffice:smarttags" /><st1:chmetcnv w:st="on" TCSC="0" NumberType="1" Negative="False" HasSpace="False" SourceValue="600" UnitName="℃"><SPAN lang=EN-US>600℃</SPAN></st1:chmetcnv>以下），是利用辉光放电、热弧放电和冷场弧光放电等离子体的能量来降低沉积温度，可以在高速钢、热作工具钢和某些冷作工具钢的回火温度以下沉积氮化钛、金刚石、氮铝钛、氮化碳等硬质涂层。广泛用于各种钢制精密工具、精密模具的表面处理，提高使用寿命<SPAN lang=EN-US>3-10</SPAN>倍，提高加工效率<SPAN lang=EN-US>50%</SPAN>以上。改善被加工零件的表面光洁度和尺寸精度、降低成本。</FONT><SPAN lang=EN-US><BR><FONT size=3>    </FONT></SPAN><FONT size=3>随着ＰＶＤ技术的发展，涂层和基体间的结合强度得到进一步提高，近几年ＰＶＤ技术在精密硬质合金工具、模具领域推广应用发展迅速。<SPAN lang=EN-US><?xml:namespace prefix = o ns = "urn:schemas-microsoft-comfficeffice" /><o:p></o:p></SPAN></FONT></SPAN></P>
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