调制周期对TiB2/TiAlN纳米多层膜机械性能的影响

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　　摘　要：利用射频磁控溅射技术,在室温下合成了具有纳米调制周期的TiB2/TiAlN多层膜.分别采用表面轮廓仪、纳米力学测试系统、多功能材料表面性能实验仪和XRD,分析了调制周期对TiB2/TiAlN纳米多层膜机械性能的影响.结果表明:大部分多层膜的纳米硬度和弹性模量值都高于两种个体材料混合相的值,在调制周期为25 nm时,多层膜体系的硬度超过了36GPa,性能达到较佳效果.

7 @& A6 a6 M' K; \1 U  x0 E) N 　　关键词：射频磁控溅射;TiB2/TiAlN纳米多层膜;调制周期;硬度

" G; h* d& A+ ^ 　　分类号：O484　文献标识码：A

6 M+ }' M- Z! p# y' Y 　　文章编号：1672-7126（2008）增刊-026-03

' Z6 V6 Z! l" a# m+ g3 H1 c, `6 X Modulation Period and Mechanical Properties of Nano-scaled TiB2/TiAlN Multilayered Coatings

( I' i, O  L- _, e$ K- a. h, ]8 D Liu Sipeng　 Kang Yuanbin　 Wang Hui　 Li Dejun　 Deng Xiangyun
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　　基金项目：天津市科技计划国际合作项目（No.07ZCGHHZ01500）

　　作者简介：邓湘云,联系人:Tel:022-237156519;Fax:022-23766519;E-mail:xiangyundtj@yahoo.com.cn
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　　作者单位：刘思鹏（天津师范大学物理与电子信息学院,天津,300387）

　　亢原彬（天津师范大学物理与电子信息学院,天津,300387）
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& {' e/ R3 }0 V* Q. ~% ]; z7 [ 　　王晖（天津师范大学物理与电子信息学院,天津,300387）

4 _! x* ?; x2 h' e2 P) y1 _ 　　李德军（天津师范大学物理与电子信息学院,天津,300387）

　　邓湘云（天津师范大学物理与电子信息学院,天津,300387）