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不同工艺制备的氟化镁材料对真空镀膜的影响7 ~' z+ V; r+ P G
MgF2是应用最早的、最常用的、性能优良的光学镀膜材料。然而,由于其制备工艺过程不同所造成的材料内部组织结构上的差异,最终对真空镀膜工艺和薄膜光学性能(如折射率)会产生很大的影响" f1 o* t) k7 {
MgF2压片材料结构较为松散,内部组织中存在大量的气孔和未脱除的结晶水,冷压时排出了部分气孔,但由于没能从根本上消除气孔,并有少量结晶水存在,镀膜过程仍有放气、喷溅及成膜后折射率偏离现象。 ) y" A5 u) Y6 {
晶体MgF2材料,从材料处理工艺上采用了真空低温预处理、高温脱气等过程,最大限度地排除了产生放气、喷溅和发生化学反应,从而具备了组织均匀的良好内部特征,是真空镀膜的优良首选材料。/ l- z3 {6 y1 d4 `
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1995年,爱特斯光学开始氟化镁真空镀膜材料的生产,主要生产氟化镁晶体和氟化镁压片,产品质量稳定,热销于国内外市场。
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