inficon膜厚仪tooling问题

cugzqq

请问大家，为什么修改tooling膜的厚度也会变化呢，tooling是怎么控制膜厚的，工作原理是什么？谢谢

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?“机台对每种材料的修正系数”
Tooling(比例系数或比例因子...)在晶控里的定义是   Tooling值= 样品膜层厚度/晶振片膜层厚度
5 p4 k4 K  m5 h; X) ^在晶控仪材料参数里，填写了正确的材料Tooling值后，样品的设计厚度可直接写入晶控仪的膜系中。晶控仪在膜厚控制时会自动将检测到的厚度乘以这个 Tooling显示出来，这样用户看到的就是样品厚度。
0 B, h* b0 G( j' X1 M/ P% t晶控仪的说明书里都有的。看看晶控说明书，对镀膜的基础会有所帮助。转自网络。