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[求助] GE镀膜温度

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发表于 2018-7-21 11:44:55 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位薄膜大神,有没有人镀滤光片使用GE(锗)材料的,请问您们的镀膜速率和基片温度是多少啊?有没有相关的文献呢?  ?+ h2 G4 B& I: {2 @( v

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QQ
发表于 2018-7-27 05:24:36 | 显示全部楼层
200度左右,温度太高会膜层有吸收。
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发表于 2018-7-27 09:27:00 | 显示全部楼层
我们一直都在使用这些材料做中远红外滤光片
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 楼主| 发表于 2018-8-14 11:29:54 | 显示全部楼层
xiaohuilee 发表于 2018-7-27 17:27
: H3 x4 F2 b5 \$ W我们一直都在使用这些材料做中远红外滤光片

1 w# E7 J. N0 e2 o! A/ |% O能介绍点经验吗?
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 楼主| 发表于 2018-9-5 03:29:44 | 显示全部楼层
士官长 发表于 2018-7-27 13:24" s' P% s7 q+ [& f- f! B$ v  z
200度左右,温度太高会膜层有吸收。

+ F: X$ m/ Z% |' O有没有相关的文献介绍下看看
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 楼主| 发表于 2018-9-5 03:29:54 | 显示全部楼层
士官长 发表于 2018-7-27 13:24
: t3 v7 t) k5 e* ^- T200度左右,温度太高会膜层有吸收。

4 h4 R# g$ j- d( G有没有相关的文献介绍下看看
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发表于 2018-9-12 08:01:11 | 显示全部楼层
这个没有   你可以自己查下    设备不同蒸发速率也不一样   我们就用的比较高  15A、S
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