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常用的光学薄膜制备实验设备

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发表于 2014-11-14 10:56:00 | 显示全部楼层 |阅读模式
常用的光学薄膜制备实验设备 摘  要:真空镀膜法制备的薄膜质量好,生产率高,适应的范围广,已经成为光学薄膜制备的最重要的方法了,其中使用最普遍的两种方法是热蒸发沉积和溅射沉积[1],常用制膜设备包括真空镀膜设备、分光光度计和石英晶体振荡膜厚监控仪。/ R: P" b. g( Z; A% u

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