冷阴极电离真空计非线性校准方法研究

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冷阴极电离真空计非线性校准方法研究
, O5 j* w3 G* _  刘珈彤，赵澜，李莉，刘赐贤，马奔
4 P& K% w' ?1 q  (兰州空间技术物理研究所，甘肃 兰州 730000)
" k. E! c/ R/ I, b9 |! H  　　摘要：主要介绍了冷阴极电离真空计结构、工作原理及冷阴极电离真空计的校准方法和校准装置，并对校准数据进行了处理。由于冷阴极电离真空计为非线性真空计，通过比较，校准结果采用了校准曲线的方式，可提高校准的准确度，减小校准不确定度，保证真空测量的可靠性。
0 l; [5 q0 s% B) V  　　关键词：冷阴极电离真空计;校准方法;校准装置;不确定度;校准曲线