减反膜蒸镀时通氧量问题

PENGNA_CR · 发表于 2014-1-17 01:43:12

哪位高手可以帮忙解释一下，在真空蒸镀TiO2-SiO2减反膜时，腔体内通氧量的多少对膜层致密性的影响趋势？谢谢~~~

bomoaa · 发表于 2014-1-17 10:57:02

通氧量对单层膜折射率等会有影响，但与每个机器抽速、大小等很多因素有关，不能一概而论，别人的不一定适合自己，慢慢摸索，也可查文献参考

PENGNA_CR · 发表于 2014-1-19 05:54:20

恩恩，好的啊，谢谢！我再做实验验证吧

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