我国高精度光学零件制造加工技术取得突破

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导 读：近日，国防科大精密工程创新团队研制的两种超精抛光装备通过国家重大科技专项验收，其关键技术创造了超精密光学零件加工的“中国精度”，有力支撑了“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”等3个国家重大科技专项创新突破，3年中为国家创造直接经济效益达2亿多元。
            关 键 词：光学制造
     

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- U! z. l/ d" f* e# m日，国防科大精密工程创新团队研制的两种超精抛光装备通过国家重大科技专项验收，其关键技术创造了超精密光学零件加工的“中国精度”，有力支撑了“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”等3个国家重大科技专项创新突破，3年中为国家创造直接经济效益达2亿多元。
   　　超精密加工是以高精度为目标的先进制造技术，纳米精度被誉为超精密加工技术皇冠上的明珠，西方发达国家将其视为战略资源，严格限制其出口。20世纪90年代，我国光学零件制造大多采用“手工+机械抛光”的传统加工技术，无法进行大口径、高精度、复杂面形的光学零件加工，相关领域的技术进步常常受困于此。
- A7 c, W% d, P, b% x6 H* b   　　面对我国光学零件制造水平的窘境，该校精密工程创新团队在李圣怡教授率领下，瞄准基于可控柔体制造的第三代光学加工方法开展攻关，经过20多年顽强拼搏，突破了大型光学零件高精度、高效率、无损伤和低成本的技术瓶颈，在国内首次研制出拥有自主知识产权的磁流变、离子束两种超精抛光装备，创造了我国光学零件加工亚纳米的“中国精度”奇迹，成为继美、德之后第三个掌握高精度光学零件制造加工技术的国家，也是目前世界上唯一同时具有磁流变和离子束抛光装备研发能力的国家。
% R# U/ o- r4 J% ~& J  ?   　　近3年来，该团队与中国科学院、中国航天科技(000901)集团、中国航空工业集团等单位合作，为“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”、“高分辨率对地观测系统”等3个国家重大科技专项提供技术保障和装备支撑，解决了一系列制约其创新发展的技术难题。该团队先后获得科技部重大科技专项颁发的“突出贡献奖”和“突出成果奖”。