一台国外引进微光管制备真空设备超高真空获得的技术改进

bomoaa

【摘要】介绍了国外引进微光管超高真空设备的系统结构、组成、设备功能及关键技术指标,得出了超高真空获得技术改进取得的结果,并对设备在国内的应用前景作了全面分析。


点此下载全文