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[求助] 溅射设备破真空用的气体纯度要求是多少？

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发表于 2012-8-14 10:12:06 | 显示全部楼层 |阅读模式

一般破真空都用氮气，对氮气的纯度要求是多少？谢谢！

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发表于 2012-10-4 14:58:26 | 显示全部楼层

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