濺射鍍膜顏色不均勻

simongong · 发表于 2012-6-11 13:22:14

請教各位前輩大俠，我用的是方形氧化鈮靶和硅靶作直流脈沖磁控濺射．因舊的氧化鈮靶破裂了而換上了一塊新的用一段時間後出現同一掛產品上下顏色不一致的，上面的顏色淺下面的顏色深請大家幫忙參考一下不勝感激！

280870377 · 发表于 2012-9-6 06:28:48

均匀性的问题！修正下均匀性就好了，还有就是新靶的溅射速率与旧靶的也不一样。

le200571 · 发表于 2012-9-20 08:36:43

如果你的布气系统分三段布气可以通过布气调整,要不就改变磁场.这个很不难解决吧.哈哈

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