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题名：准分子激光相位掩模法制备大晶粒尺寸多晶硅薄膜
" b" q% h' v& F# u6 C) W1 J+ E" G+ V作者：张健 林广平 张睿 崔国宇 李传南
0 D8 v |& @* f) c出处：《光学精密工程》 EI CA CSCD 2012年第1期( q- f$ h8 F6 ~; v Z* v
基金：国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2010CB327701）;吉林省科技厅支撑计划重点资助项目(No.20093056）! G5 R. L3 L$ O! v
摘要：为扩大晶粒尺寸并降低晶粒间界缺陷对多晶硅薄膜晶体管的不良影响,采用准分子激光相位掩模法制备了大晶粒尺寸的多晶硅薄膜。首先,在无相位掩模时利用不同能量密度的准分子激光晶化非晶硅...
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发表于 2012-4-7 20:19:00
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