哪位大侠用EB蒸发过SIO，求帮助

dyfdudu · 发表于 2011-5-26 10:28:11

今天用电子枪蒸发sio时，从坩埚里溅出好多，坩埚周围还有一些很细的粉末。哪位大侠镀过，请指点一二，最好有ic5的参数设置。

bomoaa · 发表于 2011-5-26 15:29:20

是不是速率太高了？
将电压功率设小点试试

weimao_liu · 发表于 2011-5-27 02:41:41

镀制工艺需要调整一下！

光學學習 · 发表于 2011-6-3 10:46:08

電流慢慢加大,控製在200-250ma之間進行鍍膜加工

zhi_ma · 发表于 2011-6-5 08:07:22

镀SIO2的数据发来看看，我自己的经验1.电子枪电流及光斑大小. 2.蒸发速率。3.膜料干净。4.开始有预热时就喷要动光斑看看。5.坩埚的问题。实际还要看你的工艺设计数据及预热方法。

hgcoating · 发表于 2011-6-8 08:32:30

镀这个材料对电子枪要求有点高了

caimao · 发表于 2011-7-5 13:15:00

用阻蒸

filmlonger · 发表于 2011-7-6 00:08:16

预熔不好，蒸发时的电子枪功率过大

cyhung · 发表于 2011-7-23 06:20:15

功率及速率過高了，且需要進行預融喔，注意不要讓其噴藥。

jiaguang · 发表于 2011-7-23 08:03:14

好好学习天天向上

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