脉冲激光沉积（PLD）技术及其应用研究

xx_912

脉冲激光沉积（PLD）技术及其应用研究

hehehehehe

这个技术能否作到纳米沉积呢？

twinson

ALD（原子层沉积）技术可以做到纳米级的沉积。详情请参考www.startscience.com公司的产品。另见本论坛中“原子层沉积”的帖子。
5 L, K+ H; {" p6 ~
5 z) C7 {5 r1 r# r$ ?另外，该公司代理美国PVD Products公司的PLD产品。详情请见：
脉冲激光沉积设备（PLD）     
4 o) n0 L3 Y9 Q0 ?2 H, |% p  
  美国PVD公司为客户提供优质的薄膜沉积设备，特别是大面积脉冲激光沉积(PLD)系统，还包括沉积元件如靶材操纵器和智能视窗等，另外可为客户订制激光分子束外延设备(L-MBE)。
1 h; b0 K# l" j' g: }) j: H- s
1 |. {% m, x  M+ w1 fPLD通用产品具有如下特点：1.系统可根据客户的特殊要求设计，操作简单方便。可使用大尺寸靶材生长大面积薄膜，基底的尺寸直径可从50mm到200mm 2.电抛光腔体，主腔呈方形，其前部是铰链门，方便更换基底和靶材 3. 双轴磁性耦合旋转靶材操纵器，可手动或计算机控制选定靶材。磁力杆传送基底到基底旋转器上，可手动或电动降低旋转器，实现简单快速地更换 4. 主腔室预留备用的腔口，如用于观察靶材和基底，安装原子吸收或发射光谱仪、原位椭偏仪、离子枪或磁控溅射源、残留气体分析器和离子探针或其他的元件等等 5. 系统使用程序化的成像链(Optical Train)，包括聚焦透镜、反射镜台、动力反射镜支撑架和PVD的智能视窗等，无需频繁地校准光学组件。在激光通过大直径靶材时可使其光栅扫描化（rastering），以获得均匀性的薄膜。智能视窗不仅可精确监视沉积过程中的靶材激光注入量（OTLF），而且可长时间保持激光束光路的清洁 6. 系统使用特有的黑体基底加热设计，高温下（950°C）可与银胶兼容使用

9 f2 f" x, E8 O  s" X% W根据客户的不同需求，提供以下型号：

1．小面积PLD系统，也就是NANO-PLD型，该系统简单、紧凑，具有多种功能，非常适合小型的研发实验室。
2．大面积PLD系统，包括PLD 3000、PLD 5000、PLD 8000三个型号，非常适合于大的公共机构，政府实验室和国防机构的研发和试制生产。
1 U# S4 D! X: w7 ?; \% f4 s/ X3．高温超导带涂层系统，也就是PLD T100型，非常适合于生产高温超导带和线缆，目前已有两套系统卖到日本知名的国际超导产业技术研究中心超导工学研究所（SRL-ISTEC），而且在高温超导线缆中获得了记录电流密度，创高温超导线材创新记录。

7 E: ^* S( ], `9 f
8 ?) P" r- ^+ J3 Y
该设备的应用：

1) 高温超导研发：合成新的高温超导材料或者微调高温超导材料 2) 高温超导工业研发：高温超导线缆和带沉积，移动通信的微波过滤器，电力分配网的错误电流限制器，超导磁能存储器(SMES)，超导量子干涉磁量仪元素制作，超导电子配件，磁共振成像应用，磁悬浮如火车 3) 铁电材料和设备4) 电-光和光学材料：电镀铬材料，电-光材料如PLZT, BST等 5) 电介材料，如AlN薄膜  6) 硬质薄膜，如TiCxN(1-x) 薄膜   7) 透明导电氧化物(TCO)沉积  8) 测辐射热敏元素生产，用于热跟踪的热探测，热成像，热度量衡等  9) 制备新材料特别是功能陶瓷  10) 制备纳米粒子  11) 矩阵辅助脉冲激光蒸发(MAPLE)聚合物薄膜  12) 制备用于MRAMs和录音磁头上GMR的铁磁材料等
' a1 W4 h" S9 \! }' {/ v3 c

  K. u9 l; n! ^0 {
以上内容来源于：http://www.startscience.com/ArticleShow.asp?ArticleID=279

tanker_007

谢谢楼主 ^_^