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镀膜机配置(肇庆东荣) * I9 x: f, O3 N% Y/ c" ^9 U: o% B
No 名称 规格 数量
. j4 r* f1 x4 _! {; p$ e1 真空室 1100mm
$ D2 k. O5 X; n; \8 k' g2 u; q3 \( f# K2 电子枪 270度e型 1 : o7 b8 S: k" c9 w, j2 w
3 坩埚 位 4
K* L$ c4 ^( e0 s4 离子源 霍尔 1 g }; H* q) ^2 u& {: s
5 光控 个 1; \3 I0 |# D- t; u
6 阻蒸 个 1 ) A8 m! W" V. b& `+ z% T1 h
7 扩散泵 个 1; M* X, T9 k$ d! m4 K
8 罗茨泵 个 1
* d8 Y: @* c1 b& ?8 o7 o9 机械泵 个 1
. i/ k/ m/ V B5 N8 B10 维持泵 个 1 $ f k; y2 I$ u+ o9 x" Y$ a
11 伞具 个 4
! a) P$ m& m, q2 ~( B% z12 空气压缩机 个 1
/ G* _/ ^8 H3 b$ E- c1 L8 f13 水泵 个 1
1 i5 A( J- P; ]2 G m6 Y# x$ x- h14 冷却水塔 个 1 |
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