真空技术常用公式

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真空技术常用公式

7 h/ ?' r# w) |( R6 e$ Y2 ?& j& p0 I

　　1、玻义尔定律

, d) s  s' R% F, n体积V，压强P，P·V＝常数
/ J2 v5 [8 Z* [9 ?一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。
即P1/P2＝V2/V1
1 H& }) Q9 @* s! H
2 Z0 H+ W8 |5 [. A! p
" O6 P! Z" V4 [　　2、盖·吕萨克定律
# W: C1 O7 \+ i: H- K: F; L
当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：
V1/V2＝T1/T2＝常数
4 b; E2 ~8 M: R- X( H4 B当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高(或P降低)1℃，则它的体积比原来增加(或缩
! k& I: B  {' m% V0 H; i小)1/273。


　　3、查理定律

当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其他绝对温度T成正比，即：
P1/P2＝T1/T2
& `( k% Q4 F* ?+ h在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高(或降低)1℃，它的压强比原来增加(或减
* [; l- x$ }6 B少)1/273。

" K9 y0 l5 g# j  f/ j* D
　　4、平均自由程：
0 G# E+ R$ v: k% Q# {0 q. K
λ＝(5×10-3)/P (cm)

0 G% j+ @8 t# w8 J" o
, c) Q, k; v& l2 {　　5、抽速：
9 Q' |4 B6 c! k
" I" k8 G2 b" Z; T. A  A% ?5 B
4 X" b% b+ ~: x! i% z) j1 v; n$ sS＝dv/dt (升/秒)或 S＝Q/P
Q＝流量(托·升/秒) P＝压强(托)　　V＝体积(升) t＝时间(秒)
, }9 {3 O2 X9 _8 @5 N7 v' G- _

　　6、通导：


C＝Q/(P2-P1) (升/秒)
6 z  G' h6 [& \# `
7 k+ V8 O6 V2 J8 z5 e# u  B
　　7、真空抽气时间：

对于从大气压到1托抽气时间计算式：
; @$ ~; G5 ?! _8 L9 H0 E3 Lt＝8V/S (经验公式)
V为体积，S为抽气速率，通常t在5~10分钟内选择。


　　8、维持泵选择：
5 O6 B2 M7 `6 c& N: I, \( n
# H7 d1 a( f" t4 U# I$ E2 vS维＝S前/10
: r% K6 \6 v, d' W
9 v! b1 d8 V7 k; b8 p& `# ~8 T  t. `
　　9、扩散泵抽速估算：

S＝3D2 (D＝直径cm）
+ _3 }4 a# c# r: q% L; c5 m' m# z
- p: W* f  a5 C9 ]
　　10、罗茨泵的前级抽速：

8 @4 M9 d0 O: n+ }5 H9 I0 Q8 MS＝(0.1~0.2)S罗 (l/s)


　　11、漏率：


Q漏＝V(P2-P1)/(t2-t1)
  s) c% W% r/ D+ ?( s/ q1 {Q漏－系统漏率(mmHg·l/s)
& b+ E' m4 p. i0 L
) ~' y8 K- S# n% B4 l# l' E! N
! D  W* l3 x7 i& @& e6 @V－系统容积(l)
) S1 q: N2 V7 @P1－真空泵停止时系统中压强(mmHg)
9 e2 V. W0 \3 ]0 X) H3 CP2－真空室经过时间t后达到的压强(mmHg)
4 R* o0 e& [9 S9 ^2 }) Ht－压强从P1升到P2经过的时间(s)
9 v2 ?5 Z/ f. l$ l% w
3 x! B# ?% E4 M* Z( q
: T" O% k2 H) m( k+ q0 `/ w7 f12、粗抽泵的抽速选择：
3 Y% v* X: i) C& S% f0 L
% u) i# L5 u. i7 `. ~9 o$ q4 ^" L# o% zS＝Q1/P预 (l/s)
S=2.3V·lg(Pa/P预)/t
S－机械泵有效抽速
7 w6 j% o4 y7 D7 i4 f6 ^Q1－真空系统漏气率(托·升/秒)
+ d6 R7 t0 q& I. f1 `% uP预－需要达到的预真空度(托)
3 c" W4 K9 i# b+ C6 _$ \" o0 q3 mV－真空系统容积(升)
: ~; L8 Y  k4 L! K+ g& I! Jt－达到P预时所需要的时间
9 N$ U1 g3 ~9 I. {# D  pPa－大气压值(托)


　　13、前级泵抽速选择：
/ }7 B' F1 c0 `  w6 p
　　排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有：
/ B; H( H0 ]& e

- Z; ?, z9 z! ~( pPnSg≥PgS 或
: G& o1 @) }  D" L) U& t( {5 CSg≥Pgs/Pn
) m- b* s* M7 |* n" W: dSg－前级泵的有效抽速(l/s)
9 Q, [, {( N8 q* RPn－主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s)
, n. t. F3 a7 z7 rPg－真空室最高工作压强(托)
S－主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s)

5 O+ D7 C& o8 n0 P( X% R. h. u8 P/ }
　　14、扩散泵抽速计算公式：
* N2 u0 t0 [: c0 R) k
9 A9 R/ K* x: N- c1 U& u& aS＝Q/P＝(K·n)/(P·t)(升/秒)
4 S2 w! P* E$ L* V) p式中：S－被试泵的抽气速率(l/s)
n－滴管内油柱上升格数(格)
  ?. P( K. D3 [8 s7 qt－油柱上升n格所需要的时间(秒)
- {4 ]+ X' T' ]3 X5 LP－在泵口附近测得的压强(托)
K－滴管系数(托·升/秒)
; S$ X: g4 ]; g

K＝V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt


+ ]+ e/ }4 O# j8 {其中V0－滴管和真空胶管的原始容积(升)
L－滴管刻度部分的长度(mm)
) l- F5 p, q! G4 {; A) Z) dn－滴管刻度部分的格数(格)
Υ0－油的比重(克/厘米3)
* U) Q5 \5 s4 LΥm－汞的比重(克/厘米3)
Pa－当地大气压强(托)
△Vt－滴管的刻度上的一格的对应的容积(升/格)
2 f, M# |( t- O/ @

　　15、旋片真空泵的几何抽速计算公式：

S＝πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)


  Q$ O3 n2 m0 ]/ M+ T式中：Z为旋片数，n为转速(转/分)，L为泵腔长度，D为泵腔直径，d为转子直径(cm)，Kv 为容积利用系数(一般取95％)。


　　16、O型橡胶槽深B＝0.7D

D为橡胶直径，槽宽C＝1.6B

# b7 [4 l  p3 q$ _6 V
) E: |& w7 B' `+ E# h8 a9 A　　17、方形橡胶槽深B＝0.8A

英雄镀膜

很有用，谢谢