薄膜弹性模量的若干测试方法及其适用性分析

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薄膜弹性模量的若干测试方法及其适用性分析
# q& L1 O& Z" j7 @7 K. N3 I/ x7 z+ Y黄莉[1] 宋显辉[1] 钱红兵[2][1]武汉理工大学理学院工程结构与力学系，武汉430070 [2]武汉华中数控股份有限公司，武汉430070摘　要:薄膜科学是一门涉及物理、化学、电子学、材料、力学等诸多学科的边缘学科。目前为止，有关膜的力学性能的研究工作尚未开展的部分还很多，对膜的弹性模量，也没有得到很多这方面的数据。本文列出了几种测试膜弹性模量的方法，并给出了一种将镀膜试样作为层合薄板，利用其弯曲时挠度与载荷的关系计算膜弹性模量的方法，同时对这几种方法的适用性作了适当的分析与比较。
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关键词:薄膜测试 弹性模量 测试方法 适用性
' {9 B% Z9 }6 g2 V1 r. T; }: H分类号:　O484.5 TB43文献标识码：文章编号：栏目信息：
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