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[求助] 什么是tooling值呀,它影响什么参数么,我只是听老师说起过!

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发表于 2008-11-8 15:33:14 | 显示全部楼层 |阅读模式
工作中一直也没接触过tooling值的计算问题,老师傅也没用过,这两天看到论坛上说起tooling值,想请教一下什么叫tooling值,他用在什么地方,影响镀膜质量么。
发表于 2008-11-9 17:20:12 | 显示全部楼层
tooling值是实际镀制的薄膜厚度(例如椭偏仪计算与光谱仪测量间接得到的膜厚)与理论膜厚(一般是晶控仪显示厚度)的比值吧,请别的大侠补充。。
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QQ
发表于 2011-4-6 13:48:44 | 显示全部楼层
学习中
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发表于 2011-4-27 08:18:38 | 显示全部楼层
它是石英晶体膜厚控制仪上用来控制膜厚的一个修正参数。
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发表于 2011-6-8 08:38:47 | 显示全部楼层
tooling值找准了膜厚才能控制准确,不同材料tooling值也不一样。
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发表于 2011-6-13 14:38:59 | 显示全部楼层
谢谢!!!!!
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发表于 2012-9-5 01:39:41 | 显示全部楼层
控制膜厚的参数
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发表于 2013-11-8 17:12:44 | 显示全部楼层
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