ITO没防静电效果

fawang · 发表于 2008-2-9 03:26:05

哪位大侠有镀过用蒸镀，且用霍尔离子源辅助镀ITO的，如果阴极发射电流和阳极发射电流比平时大4倍，且离子源报警但能镀完，氧气和真空度没变化，可最后ITO没防静电效果，这是为什么呢？请大侠们指教！谢谢！！！！！！！！！！！！！！

guan01cn · 发表于 2006-1-6 05:41:53

估计你膜层无电阻或者电阻偏小

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