SR-FEL宽带腔镜与双带腔镜光学膜系实验研究与研制

SR-FEL宽带腔镜与双带腔镜光学膜系实验研究与研制

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- J  y4 w! E/ U; j- v【英文篇名】 Development of the Broadband and Dual-band Cavity Mirrors for SR-FEL at 355nm and 248nm
8 _' Q: y: }6 g* _* r, C: R【作者中文名】 高怀林; 王乃彦; 王东蕾; 王永;
【作者英文名】 GAO Huai-Lin WANG Nai-Yan WANG Dong-Lei WANG Yong （Institute of Electronics; Chinese Academy of Sciences; Beijing 100080; China） （China Institute of Atomic Energy; Beijing 102413; China）;
) u9 a5 Z: U/ s【作者单位】 中国科学院电子学研究所; 中国原子能科学研究院; 中国科学院电子学研究所 北京;
【文献出处】 高能物理与核物理, High Energy Physics and Nuclear Physics, 编辑部邮箱 2007年 04期  
期刊荣誉：中文核心期刊要目总览  ASPT来源刊  中国期刊方阵  CJFD收录刊
' r+ E7 g( S8 x# H$ ?【关键词】 储存环自由电子激光; 腔镜光学膜系; 电子束蒸发沉积; 离子束溅射沉积;
, p6 b2 P( f  V  C9 O! L【英文关键词】 storage-ring free-electron laser; cavity mirror coatings; electron-beam evaporation deposition; ion-beam sputter deposition;
【摘要】 利用“电子束蒸发沉积薄膜生长技术+离子束溅射沉积薄膜生长技术”、“HfO2／SiO2+Al2O3／SiO2+M-SiO2”复合光学膜系设计技术、400℃×4h高温处理技术,研制的SR-FEL宽带腔镜光学膜系在355nm中心波长的绝对光学反射率测量值为R(355nm)=99．45％,反射光谱带宽测量值为Δλ(R≥99．00％)=75nm;研制的355nm／248nm双带腔镜光学膜系,在355nm中心波长,其绝对光学反射率测量值为R(355nm)=99．69％,反射光谱带宽测量值为Δλ(R≥99．00％)=59nm;在248nm中心波长, R(248nm)=98．21％,绝对光学反射率光谱带宽测量值Δλ(R≥99．00)=9mm,Δλ(R≥98．00％)=33nm．
9 T* A+ F1 C* l8 v+ D6 Y4 p$ r, p, o【英文摘要】 The cavity mirrors of the storage-ring free-electron laser (SR-FEL) at 355nm and 248nm central wavelengths have been developed with the technologies of electron-beam evaporation deposition and ion-beam sputter deposition. The mirror coatings consists of "HfO2/SiO2+Al2O3/SiO2+M-SiO2".The absolute reflectance and frequency-tunable range at 355nm are R=99.45% andΔλ(R≥99.00%)=75nm, respectively, for the broadband resonator mirror. For the mirror with the dual-central wavelengths, R=99.69% andΔλ(R≥99.00%)=59nm f...