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镀黑膜应该使用那种配置的机器

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发表于 2007-11-9 00:23:57 | 显示全部楼层 |阅读模式
我现在要镀黑膜TIC,用什么样的配置要好一些,我要求耐摩擦1000次以上,L。A。B值35。0。0。左右,那位高手指点一下,谢谢!
发表于 2006-1-6 05:41:53 | 显示全部楼层
用磁控溅射,1300MM真空舱,三台分子泵,两台70泵和一台罗茨泵
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 楼主| 发表于 2007-11-15 00:41:07 | 显示全部楼层
磁控溅射靶的配置怎样,是对靶还是孪生吧,我的邮箱liuhaifei2000@163.com
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