电子束蒸发TiO_2薄膜的光学特性.pdf

zgc910705 · 发表于 2007-10-27 23:40:59

[/free]研究了不同工艺参数条件下, 电子束蒸发TiO2 薄膜的光学特性。在正交实验的基础上, 利用离子束辅
助沉积技术, 获得了影响TiO2 薄膜折射率的主要因素, 得到了TiO2 薄膜的折射率随氧气分压的关系。对离子氧和分子氧两种情况下 TiO2 薄膜的折射率进行了比较, 得到了 TiO2 薄膜的折射率与沉积速度的关系, 并给出了TiO2 薄膜的红外吸收光谱。[free]

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111220013 · 发表于 2006-1-6 05:41:53

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