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[分享] 用射频溅射技术在硅衬底上制备In掺杂ZnO薄膜

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发表于 2007-9-21 18:06:31 | 显示全部楼层 |阅读模式

用射频溅射技术在硅衬底上制备In掺杂ZnO薄膜

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