薄膜沉积PPT
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薄膜沈积 在晶片上形成薄膜之技术,可分为: 1.薄膜成长: 会消耗晶片或底材的材料 2.薄膜沈积: 物理气相沈积(...具备的饱和蒸气压来进行薄膜的沈积 简易真空蒸镀机: 蒸镀室 蒸镀源 坩埚:钨,钼,钽材料 缺点:a.合金或是化合物...
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