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[转贴] 薄膜沉积PPT

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gds 该用户已被删除
发表于 2007-8-31 21:38:12 | 显示全部楼层 |阅读模式
薄膜沉积PPT3 Y& h, F6 F  g: C  L; C  d' B
文件格式PT( P* b& H' V* ?; X9 V
薄膜沈积 在晶片上形成薄膜之技术,可分为: 1.薄膜成长: 会消耗晶片或底材的材料 2.薄膜沈积: 物理气相沈积(...具备的饱和蒸气压来进行薄膜的沈积 简易真空蒸镀机: 蒸镀室 蒸镀源 坩埚:钨,钼,钽材料 缺点:a.合金或是化合物...
3 q( N" U3 ?2 M& o) o  {) \- R% U/ V- p' v6 F: a
[fly]http://nano.me.hfu.edu.tw/report/photoelectronics/2.ppt[/fly]

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发表于 2006-1-6 05:41:53 | 显示全部楼层
z nali ?
0 ^# z/ ~+ l. C7 `7 s. s) F文件在哪里啊?看不到啊?
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gds 该用户已被删除
 楼主| 发表于 2007-9-1 03:05:14 | 显示全部楼层
引用第1楼derek_wang于2007-08-31 18:47发表的  :
# g9 a& \7 h2 Q9 O8 ~; ~: t$ Qz nali ?
1 ]5 @/ s; y2 {: }1 i  A文件在哪里啊?看不到啊?
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发表于 2018-8-19 16:24:12 | 显示全部楼层
谢谢分享
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