用复合监控法镀制的TEA CO2激光器增透膜

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用复合监控法镀制的TEA CO2激光器增透膜  

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. S/ f% ?( u9 l8 o4 F* @' v3 t. O   英文标题：  Antireflect Film Used in TEA CO2 Laser Produced by Combination Thickness Monitoring Method   
  作者：  杨春华  ； 夏文建  ； 李蓬  ； 余文峰  ； 程祖海   
7 ?$ i" _" _0 ], @  作者单位：  华中科技大学激光技术国家重点实验室,武汉,430074  
' A; Z( Y6 }9 D; _" j$ I6 u9 r   刊名：  光学与光电技术  
. Q" {% a6 k5 o! p# @" `   英文刊名：  OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY   
+ K9 j5 r+ Y0 d- u4 y   年/卷/期：  2007 /5 /1   
7 d2 {1 A, m) [$ x   栏目名称：  光学薄膜   
4 ^1 y# ?6 m; O8 h  分类号：  O484.4   
' F2 T' ^- A  G0 J: M' ^$ a/ S" @  关键词：  光学薄膜  ； 膜厚监控  ； 复合监控  ； TEACO2激光器   
- c) k( ]# {0 I7 y- s   摘要：  比较了光学薄膜淀积过程中的晶振监控和光学监控各自的优缺点,提出了一种有效利用这两种监控方法各自优点的复合监控方法,利用该复合监控方法采用离子辅助镀工艺镀制的TEA CO2激光器增透膜,其透射率高于99.5﹪,且具有良好的稳定性和重复性.   
  基金项目：  国家973,湖北省自然科学基金(2000j162)资助项目  
( S4 y9 c+ Q: e$ g2 I& N2 _1 w9 E) w  数据库名： 数字化期刊数据库