脱膜

guou · 发表于 2007-6-9 05:59:46

如何才能做好光洁度? 导致膜层脱膜的因素有哪些?

xiaoji · 发表于 2007-6-9 16:45:04

基底清洁不干净

xiaoji · 发表于 2007-6-9 16:45:25

基底清洁不干净

显示全部楼层 · 发表于 2007-6-9 20:47:26

或者薄膜应力造成的

guou · 发表于 2007-6-10 19:28:16

我们有台机器搬了下，原来光洁度还好的，现在出现了连续报废！膜料重新换过，防污板及腔室都做了清洗了！可光洁度还是不怎么行，蒸发速率是２０Ａ／Ｓ　和５Ａ／Ｓ的　！

ulong2100 · 发表于 2007-6-15 23:30:24

基材的洗净，环境的维护，腔室的洁净，基材进腔室前的静电消除都要注意

csfoxgg · 发表于 2007-6-21 13:15:09

光洁度和环境及清洗条件相关
脱膜和设备原因和清洗条件有关

黑子 · 发表于 2007-6-28 22:42:23

脱膜跟基片的洁净度有很大关系,但跟机子的卫生,周围的环境.还有镀膜的条件:比如真空度.温度之类的!还有就是蒸发的是否均匀,束流是否过大等等.读有关系!基片的洁净度跟本身的材料也有关.还有就是清洗过程,整个过程是层层要把好关的!

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