等离子辅助镀光学薄膜的研究

xx_912

等离子辅助镀光学薄膜的研究杜旭日 郭亨群华侨大学信息科学与工程学院，泉州362011摘　要:研究用等离子辅助镀技术，制备3种氧化物光学薄膜，透射光谱实验表明，该薄膜透明度好，吸收损耗小，具有优良的光学特性，经表面形貌探讨，说明等离子辅助镀技术可得到较为致密平整的薄膜，而新型等离子体源，能有效地改善光学薄膜的特性，具有实际应用的价值。

关键词:等离子辅助镀 等离子体源 氧化物光学薄膜 透明度 吸收损耗 光学特性
/ l  |% H. s; y$ I: x1 {' z分类号:　O484.41 TQ153文献标识码：文章编号：栏目信息：
. Q3 r9 N3 {. X- @相关文献:主题相关

好好镀膜

非常感谢！！！！！