Wollaston棱镜宽带减反射膜的研制及测试

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Wollaston棱镜宽带减反射膜的研制及测试

( p0 \- O$ R" F4 X3 x. U【论文题名】 Wollaston棱镜宽带减反射膜的研制及测试
& N& o' q" m/ b" n: S【英文题名】 Design and Test of Broad-band Antireflection Thin Films Based on Wollaston Prism
【作　　者】 郝殿中　吴福全　宋连科　马丽丽　张旭　闫斌　
【作者单位】 曲阜师范大学激光研究,山东,曲阜,273165
【刊　　名】 光电子·激光
7 G) {. X: M8 C# v【英文刊名】 JOURNAL OF OPTOELECTRONICS·LASER
【年 卷 期】 2006 Vol.17 No.10
% W3 e0 d0 g8 ?  `  D/ }- C0 S【栏　　目】 光电子器件和系统
【分 类 号】 O484.4
2 p% J7 @! G' v+ e【关 键 词】 薄膜光学；Wollaston棱镜；减反射膜；带宽
% }' A/ R! z4 G/ B' K% L. l0 S【摘　　要】 针对Wollaston棱镜中o、e光对应的基底折射率相差较大以及制作该晶体的冰洲石和许多薄膜材料间附着力较差的特点,为了提高镀膜材料和冰洲石基底的附着力以及提高棱镜的透过比,拓宽有效使用带宽,借助于计算机辅助设计方法,设计了高性能多层减反射膜系.选用合适的光学薄膜材料,利用电子束蒸镀,借助于离子源辅助蒸镀,制作了高性能的宽带减反射膜.测试结果表明:o光的平均剩余反射率小于1.0﹪,e光的平均剩余反射率小于0.5﹪,有效使用带宽在近红外大于200 nm薄膜和基底结合牢固,达到了设计要求,提升了棱镜的品质.
【基金项目】 山东省教育厅资助项目(J05c04)