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高精度薄膜光学测量仪器FilmTek系列产品
$ y$ M) i% d$ P( b可测参数:
6 _2 H. t* K: g' X1)单层或多层薄膜(可达50层),厚度 (<1Å to 250 um)! y. V- k* i& p% O J
2)反射率R和透射率T
0 w* i& r/ S0 l) f) J3)折射率n和吸收系数k! Q5 \* K! r% R1 s
4)能带间隙( `# ?" P( [! Y, V% `1 {
5)表面粗糙度和损伤度7 y$ Q7 v2 {& _/ ~- X1 y
6)成份和结晶程度
7 E3 {3 K% T4 a8 Q& A/ e适用于高精度的薄膜量测,广泛应用于OLED, LCD, 半导体行业和光电行业等。 |
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