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激光沉积法制备近红外高屏蔽性能透明薄膜3 r, s" ^9 N/ g2 k' Q) j9 P
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7 H6 J, r4 U& L3 l" x7 |9 c 摘 要： 以金属锌、铁、银为靶材，用准分子脉冲激光沉积法(PLD)，在石英玻璃基片上制备了锌、铁、银的金属氧化物多层薄膜。XRD和AFM研究结果表明薄膜的结晶度很好，晶粒尺寸在30～50nm，成膜均匀致密，光滑平整；经紫外和红外光谱发现：Ag/Fe／Zn氧化物多层膜反射率小于15％，是一种低反射薄膜，其在可见光区的透过率约为50％(浅蓝灰色)，对紫外的阻隔率大于90％，对近红外的阻隔率大于70％。 www.qikan.com.cnHIAXTfavYz82COCF% I. J1 m0 g1 v/ S
关键词： 脉冲激光沉积法； 透明薄膜； 抗紫外／近红外性能 www.qikan.com.cnHIAXTfavYz82COCF" }+ P0 }1 C3 l+ e) x G5 }3 c
中图分类号： TB 383 www.qikan.com.cnHIAXTfavYz82COCF& C; D4 T) A) e
文献标志码： A www.qikan.com.cnHIAXTfavYz82COCF
! t0 t4 O( B% d( }( x1 g1 u 文章编号：1671—4431(2005)11—0011—03 |
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发表于 2006-10-15 21:14:37
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