新型缩微计量光栅传感器开发与应用

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& [! V, r' I/ v# M" H<br/>< style="LINE-HEIGHT: 150%"><FONT size=2>中图分类号：TP212&#46;14  文献标识码：A     </FONT><br/>
<br/>< style="LINE-HEIGHT: 150%"><FONT size=2></FONT><br/>
. m% g2 ?) L- y$ J<br/>< style="LINE-HEIGHT: 150%"><FONT size=2>一、前言 </FONT><br/>
<br/>< style="LINE-HEIGHT: 150%"><FONT size=2>光栅测量具有测量精度高、测量范围大、数字（脉冲）量输出的优点，广泛用于数控加工设备、光刻设备以及其它需要对位移或转角做高精度检测的场合。但由于测量精度高、<A class=wordstyle href="http://www&#46;cyqdesign&#46;com/" target=_blank>光学</A>系统比较复杂、光栅安装配合尺寸严格，所以通常情况下只能用于高端领域，使这种优秀的测量手段难以获得普及应用。 </FONT><br/>
* [0 v; t9 N1 a& a, U<br/>< style="LINE-HEIGHT: 150%"><FONT size=2>缩微光栅传感器是一种新型的低成本、高可靠性、易使用的微型数字化<A class=wordstyle href="http://www&#46;cyqdesign&#46;com/" target=_blank>光电</A>传感器，它用国家发明专利技术制造的缩微光栅作为传感器的光栅材料，通过<A class=wordstyle href="http://www&#46;cyqdesign&#46;com/" target=_blank>光电</A>元器件直接检测光栅相对运动产生的干涉莫尔条纹，输出对应的<A class=wordstyle href="http://www&#46;cyqdesign&#46;com/" target=_blank>光电</A>脉冲，实现对位移或转角的测量。该传感器可以作为通用型、普通精度的位移和转角传感器，广泛用于仪器仪表、工业控制领域。由于该传感器价格极低，还可以用于智能玩具、计算机外设产品中，因此具有良好的应用前景。 </FONT><br/>
<br/>< style="LINE-HEIGHT: 150%"><FONT size=2>缩微光栅传感器主要包括长光栅位移计量传感器和圆光栅转角计量传感器，下面以位移计量光栅传感器为例讨论其结构原理和应用方法。 </FONT><br/>
<br/>< style="LINE-HEIGHT: 150%"><FONT size=2>  </FONT><br/>
5 h0 }9 {+ w3 s/ ?2 |* x- K8 _<br/>< style="LINE-HEIGHT: 150%"><FONT size=2><IMG height=276 src="http://www&#46;b2bic&#46;com/Portals/a8176bfa-b639-40b8-9e48-b16e7be6eff5/Documents/tech1146_files/image002&#46;gif" width=271 onload="return imgzoom(this,550)" align=right v:shapes="_x0000_i1032"> 二、缩微光栅传感器的结构与工作原理 </FONT><br/>
3 d& i# g/ t- i. h3 X) {; J<br/>< style="LINE-HEIGHT: 150%"><FONT size=2>１、结构 </FONT><br/>