› 薄膜工艺 › 亚克力放气问题请教

greentea 发表于 2006-8-19 00:18:03

亚克力放气问题请教

我们在做亚克力镀膜时，因为放气严重，所以工艺很不稳定。请问大家有什么解决放气的好办法？谢谢

5504181 发表于 2006-8-21 08:49:35

加深冷啊

greentea 发表于 2006-8-21 22:07:02

我们是放气严重。放热还没有重点考虑。会不会是溅射放热导致放气严重？能不能具体请教一下？怎么联系您？谢谢

frankier 发表于 2006-8-27 04:25:13

镀膜前做好除气 一般问题就不会很严重 放气是正常的

caodahua 发表于 2006-8-29 21:54:17

镀膜前,加偏压做离子清洗一段时间，我想是可以除气的

1100 发表于 2006-9-9 12:20:48

你将充氧方式改变(压强控制)方可

dinghaiyi 发表于 2006-9-23 05:31:45

最好是加低温冷阱,详细资料请联系 xiemin_cicy@163.com

xiaohe 发表于 2006-11-2 02:58:50

加配低温冷阱捕集器对真空室起到干燥作用,提高泵组的抽空效率,这样能改善镀膜的成膜环境,提高镀膜的重复性.我司是做低温设备的,我的邮箱ｈｅｊｉａｎａｎ１４３７＠ｙａｈｏｏ．ｃｏｍ．ｃｎ可与我联系。

hanlei5144 发表于 2007-2-5 22:57:15

烘烤除气先…………

lytchrislyt 发表于 2007-2-7 03:57:32

只能烘烤才是最好的解决方法.

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