镀长波通，反射蓝绿色，镀后脱膜严重，求助
本帖最后由 charles2022 于 2018-5-13 13:01 编辑用这个膜系Design:
1SiO276.09
2TI3O5-HH23.94
3SiO286.27
4TI3O5-HH52.87
5SiO269.92
6TI3O5-HH64.07
7SiO285.38
8TI3O5-HH58.9
9SiO283.24
10TI3O5-HH53.23
11SiO2213.95
因为有颜色要求780-1100低反。镀出客户基片来掉膜很厉害，好多小气泡一样。做测试的白玻璃表面不掉膜但是膜层很软。有没有知道的请指教。
补充；机器南光蒸发机1350 80度基片亚克力 QQ 13893538.
加离子源试试，另外不加温不可以吗？ sio2压应力太大了 只能加离子源，还需要有些强度的霍尔源
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