hhp409 发表于 2015-10-9 15:36:48

请教一个减反射薄膜的设计

已知基板为硅片折射率为3.85），从基板到外界空气依次为：5nm厚的二氧化硅层、2层不同折射率和厚度的氮化硅薄膜、空气，第一层氮化硅，其厚度为d1（具体数值待定），折射率为n3（折射率在2.0-2.5之间可调，可取其任意值，具体数值待定），第二层氮化硅，其厚度为d2（具体数值待定），折射率为n4（折射率在2.0-2.5之间可调，可取其任意值，具体数值待定），且d1+d2=75nm，要求在300-1100nm的整个太阳光谱反射率最低，请问：n3、n4、d1和d2值是多少才能达到最佳？谢谢！

lilisrlhj 发表于 2018-6-19 15:49:58

N3/2.5D1/12
N4/2.0D2/63
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