› 薄膜工艺 › 在线等解答 跪求了。。。

terry870202 发表于 2012-12-11 10:42:43

在线等解答 跪求了。。。

我是一个新人 希望有厉害的老师能举个用导纳矩阵法计算膜系的例子 急用

bomoaa 发表于 2012-12-12 18:25:01

可以看看唐晋发的薄膜书籍，里面有很详细的理论推导

aoyq2007 发表于 2012-12-13 15:05:26

http://bbs.opcoating.com/thread-48817-1-1.html

这里的算法就是用导纳矩阵算出来的，可以去看看

27676995 发表于 2013-11-9 01:05:44

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