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薄膜工艺
› 溅射设备破真空用的气体纯度要求是多少?
firefiend
发表于 2012-8-14 18:12:06
溅射设备破真空用的气体纯度要求是多少?
一般破真空都用氮气,对氮气的纯度要求是多少?谢谢!
pfc537
发表于 2012-10-4 22:58:26
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溅射设备破真空用的气体纯度要求是多少?